适用范围:二甲醚、氯乙烯、三氯氢硅、多晶硅等行业。

 

工艺流程:以三氯氢硅尾气为例,根据原料气中含有H2、N2、SiH2Cl2和SiHCl3等分离组分,然后用变压吸附分离提纯SiH2Cl2和SiHCl3组分,由于这些组分的分子大,吸附剂对这些组分的解吸相对较弱。所以改进后的工艺一般是在选择容易解吸的吸附剂的同时还需采用冲洗和抽真空流程,不但可去掉N2杂质和回收SiH2Cl2和SiHCl3高附加值的产品,而且还能大大提高产品氢气品质。

 

吸附塔:采用GB和TSG标准,所有设备设计寿命大于15年。

 

吸附剂:采用动态吸附量大、解吸容易、耐磨强度和抗压强度较高,对所有待分离的气体介质具有化学惰性的吸附剂。



2018年06月28日

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【摘要】:适用范围: 二甲醚、氯乙烯、三氯氢硅、多晶硅等行业。